上海普丹光学仪器有限公司

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MX-40BD半导体检测显微镜

半导体检测显微镜资料下载

产品用途

MX-40BD半导体检测显微镜采用无限远色差校正光学系统,具有大视野、成像质量高、功能扩展性强(明场/暗场/偏振光/DIC观察)、大平台等特点;同时配有长工作距半复消色差物镜和快速和慢速移动的大行程载物台,尤其适合半导体掩模板、液晶基板或其它平面显示器及各种工业器件的检验。

产品特点

  • 安全、稳重的机架结构设计: 工业检测级显微镜镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,保证了系统的抗震能力与成像稳定性。其前置低手位粗微调同轴调焦机构,内置100-240V宽电压变压器,可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热

  • 透反射照明器: 单颗大功率5W白色LED照明,带斜照明机构。切换至斜照明时,可以使物体表面不同材质部分呈现立体图案,增加观察的对比度与视觉效果

  • 电动物镜转换器: MX-40BD采用6孔全自动电动装盘(带DIC插槽),重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制,根据需求可配置不同孔位的转换器

  • 长工作距金相物镜:采用半复消色差技术,其使用的多层宽带镀膜技术,使整个视场内的成像清晰锐利,色彩自然,明亮舒适。更有50X100X全复消色差金相物镜可供选择,大幅拓展了该机型的应用领域。

产品规格

规格参数 MX-40BD
光路系统 无限远色差校正光学系统
观察头 铰链三通观察筒,30°倾斜,360°旋转;瞳距范围:50mm~76mm
反像,视度调节±5°;两档分光比R:T=100:0
目镜 高眼点大视野平场目镜WF10X(Φ23mm)
无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜 倍率 数值孔径(N.A.) 工作距离(W.D.)
BD 5×-DIC 0.15 15.0mm
BD 10×-DIC 0.3 8.40mm
BD 20×-DIC 0.4 11.90mm
BD 50×-DIC 0.75 3.00mm
明暗场半复物镜 BD 100×(选配) 0.9 1.0mm
放大倍数 50×-500×
电动物镜转轮 电动明暗场6孔转换器(带DIC插槽)
透反射用机架 6*4英寸双层机械移动平台,低手位X、Y方向同轴调节
平台面积310*240mm,移动行程:150mmX100mm机械平台,X、Y方向同轴调节
内置100-240V宽电压系统,采用数字调光,具有光强设定与复位功能
调焦机构 粗、微动同轴低手位调焦机构、带锁紧和限位装置
 微动格值0.001mm、粗调行程35mm
DIC微分干涉 DIC微分干涉观察组件(选配)
简易偏光装置 φ30起偏镜插板(反射用)、360度旋转式检偏镜插板(反射用)
聚光镜 摇出式消色差聚光镜(N.A.0.9)  
反射照明系统 柯拉照明系统,带视场光阑与孔径光阑,中心可调
100-240V宽电压,单颗大功率5W LED,暖色
透射照明系统 内置5W暖色LED透射光照明系统,上下光可独立控制
数码成像系统 高质量0.65X  CCD适配镜
Puda 630万USB型进口芯片数字显微镜摄像机(采用SONY 6.3M/IMX178(C),1/1.8“ (7.37x4.92),59@3072 x2048,59@1536x 1024高性能芯片组/ USB3.0高速通讯,高分辨率、精准的色彩还原处理/ Ultra-Fine颜色引擎,确保颜色精准再现)
专业的图像分析软件(专业的图像软件(图像采集/影像输入/相机控制/视频操作/图像处理/图像测量/图像融合(景深扩展)/图像拼接/清晰度对焦因子/动态图像灰度值定标(可保证拍摄图像明暗程度的一致性和连贯性) /插件功能))
可升级配件 明暗场全复消色差金相物镜 50X   NA0.55   WD8.0  (可选)
明暗场全复消色差金相物镜 100X  NA0.80   WD2.8  (可选)
移动平台6寸、8寸透反射 (可选)
晶圆旋转台 (可选)
目镜:10×(分划)
注解:●为标配、○为可升级配件

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